Томские разработчики смогли упростить установку с плазменным источником
В Томском государственном университете систем управления и радиоэлектроники (ТУСУР) разрабатывают установку для импульсной электронно-лучевой обработки поверхности диэлектриков, которая проще и дешевле аналогов, сообщает региональный инновационный портал.
«Одна из ключевых наших идей — упрощение технологического комплекса, использующего для генерации электронного пучка плазменный источник, — объясняет сотрудник лаборатории плазменной электроники ТУСУР Илья Бакеев. — Обычно такие источники работают при давлении ниже 0,1 паскалей, для создания которого нужно две ступени откачки. В нашей установке для достижения рабочих давлений от единиц до десятков паскалей достаточно одной ступени откачки: конструкция упрощается, прибор становится дешевле и надежнее».
В результате многолетних исследований фундаментального и прикладного характера были созданы рабочие прототипы электронных источников, которые успешно применены для импульсной модификации поверхностей различных материалов, в том числе для упрочнения и полировки диэлектриков, создания развитой поверхности на полимерных материалах. Кроме того, источники работающие в непрерывном режиме используются для пайки, резки металлов и диэлектриков (керамика, стекло), а также перфорации керамических деталей. При этом при давлениях, используемых в установке (форвакуумный диапазон), накапливающийся на обрабатываемой поверхности изделия отрицательный заряд компенсируется постоянным потоком ионов из пучковой плазмы, автоматически образуемой при работе источника. Последняя особенность выгодно отличает разрабатываемые технологии от имеющихся аналогов¸ так как позволяет эффективно работать с диэлектриками.
«Без применения специальных дополнительных сложных средств компенсации заряда нам удается успешно обрабатывать диэлектрические объекты, в том числе сложной формы», — говорит Илья Бакеев.
Сейчас источник используется в ТУСУР для научных целей, несколько экземпляров продано за границу (Китай, Израиль, Болгария).